Контроль эпитаксиального роста тонких пленок кремния и германия методами дифракции электронов и кварцевым измерителем толщины

Заяханов, Владимир Александрович; Дирко, Владимир Владиславович

Контроль эпитаксиального роста тонких пленок кремния и германия методами дифракции электронов и кварцевым измерителем толщины

Заяханов, Владимир Александрович, Дирко, Владимир Владиславович

Дата публикации: 2018

Дата публикации в реестре: 2020-03-03T18:22:55Z

Ключевые слова:
эпитаксиальные слои германия, эпитаксиальные слои кремния, кварцевые измерители толщины, дифракция быстрых электронов

Тип: статьи в сборниках

Источник: Труды Пятнадцатой Всероссийской конференции студенческих научно-исследовательских инкубаторов, Томск, 17-19 мая 2018 г.. Томск, 2018. С. 257-260

Контроль эпитаксиального роста тонких пленок кремния и германия методами дифракции электронов и кварцевым измерителем толщины

Связанные документы (рекомендация CORE)

Партнеры

Индексация