Зависимость структуры ионно-модифицированных слоев монокристаллов NiTi от ориентации облучаемой поверхности

Мейснер, Людмила Леонидовна; Гирсова, Светлана Леонидовна; Твердохлебова, Ассоль Валерьевна; Мейснер, Станислав Николаевич; Полетика, Тамара Михайловна

Зависимость структуры ионно-модифицированных слоев монокристаллов NiTi от ориентации облучаемой поверхности

Мейснер, Людмила Леонидовна, Гирсова, Светлана Леонидовна, Твердохлебова, Ассоль Валерьевна, Мейснер, Станислав Николаевич, Полетика, Тамара Михайловна

Дата публикации: 2017

Дата публикации в реестре: 2020-03-03T18:28:26Z

Аннотация:

Методами оже-электронной спектроскопии и просвечивающей электронной микроскопии исследованы состав и структура имплантированных Si-слоев монокристаллов никелида титана, различно ориентированных относительно направления ионно-пучкового воздействия. Выявлена роль „мягкой“ [111]B2 и „жесткой“ [001 ]B2 ориентаций NiTi в формировании структуры ионно-модифицированного поверхностного слоя, а также дефектной структуры приповерхностных слоев монокристаллов. Обнаружены ориентационные эффекты селективного распыления и каналирования ионов, контролирующие состав и толщину формирующихся оксидного и аморфного слоев, глубину проникновения ионов и примесей, а также концентрационный профиль распределения Ni на поверхности.

Ключевые слова:
поверхностные слои, монокристаллы NiTi, кристаллографический анализ, ионно-модифицированные слои, структурная зависимость

Тип: статьи в журналах

Источник: Журнал технической физики. 2017. Т. 87, вып. 7. С. 1018-1026