Материалов:
1 082 141

Репозиториев:
30

Авторов:
761 409

расширенный поиск

Optical properties of TiO2 films deposited by reactive electron beam sputtering

Perevalov, T. V., Atuchin, Victor V., Gritsenko, V. A., Komonov, A. I., Korolkov, I. V., Pokrovsky, Lev D., Cheng Wei Shih, Chin, Albert, Kruchinin, Vladimir N.

Дата публикации: 2017

Дата публикации в реестре: 2020-03-03T18:30:22Z

Аннотация:
Ключевые слова:
пленки диоксида титана, оптические свойства, электронно-лучевое напыление, спетроскопическая эллипсометрия

Тип: статьи в журналах

Источник: Journal of electronic materials. 2017. Vol. 46, № 10. P. 6089-6095

Связанные документы (рекомендация CORE)

Партнеры

КФУ
ТГУ
Elpub
СФУ
Webpublishers

Индексация

BASE
WorldCat
OpenAIRE
EDS
core