Материалов:
1 005 012

Репозиториев:
30

Авторов:
761 409

Magnetron sputtering of Si-Al-N nanocomposite coatings on quartz for protection against impacts of high speed microparticles

Дата публикации: 2017

Дата публикации в реестре: 2020-03-03T18:30:28Z

Аннотация:

Тип: статьи в журналах

Источник: Vacuum. 2017. Vol. 143. P. 454-457


Связанные документы (рекомендация CORE)