Разработка методов образования высокопористых оксидных слоев алюминия для последующего формирования мультиоксидных хеморезистивных слоев для микро- и наноэлектроники

Романовская, Анастасия Викторовна; Филипович, Т. Н.; Жилинский, Валерий Викторович; Черник, Александр Александрович

Разработка методов образования высокопористых оксидных слоев алюминия для последующего формирования мультиоксидных хеморезистивных слоев для микро- и наноэлектроники

Романовская, Анастасия Викторовна, Филипович, Т. Н., Жилинский, Валерий Викторович, Черник, Александр Александрович

Дата публикации: 2019

Дата публикации в реестре: 2020-02-28T10:21:30Z

Аннотация:

Целью данной работы является разработка химической и электрохимической технологий формирования газочувствительных слоев для мультисенсорных устройств.

Ключевые слова:
анодирование, алюминий, высокопористые оксидные слои, оксидные пленки, магнетронное напыление, газочувствительные слои, мультисенсорные устройства, формирование газочувствительных слоев

Тип: Article

Связанные документы (рекомендация CORE)

Партнеры

Индексация