Дата публикации: 2017

Дата публикации в реестре: 2020-02-28T10:21:35Z

Аннотация:

На подложки из стали марки 40Х наносились тонкие пленки на основе титана и титана с кремнием методом ионно-ассистируемого осаждения в вакууме. Элементный состав и распределение элементов по глубине в сформированных на стали и бериллии покрытиях изучались методом резерфордовского обратного рассеяния ионов гелия в сочетании с компьютерным моделированием, методом резонансных ядерных реакций и методом резонансного упругого рассеяния ионов гелия.

Тип: Article