Альтернативные технологии создания структур с квантовыми точками Ge/Si

Кульчицкий, Николай Александрович; Войцеховский, Александр Васильевич; Несмелов, Сергей Николаевич; Коханенко, Андрей Павлович; Лозовой, Кирилл Александрович; Мельников, Александр Александрович (доктор физ.-мат. наук)

Альтернативные технологии создания структур с квантовыми точками Ge/Si

Кульчицкий, Николай Александрович, Войцеховский, Александр Васильевич, Несмелов, Сергей Николаевич, Коханенко, Андрей Павлович, Лозовой, Кирилл Александрович, Мельников, Александр Александрович (доктор физ.-мат. наук)

Дата публикации: 2015

Дата публикации в реестре: 2020-03-03T18:59:40Z

Ключевые слова:
альтернативные технологии, квантовые точки, молекулярно-лучевая эпитаксия, ионная имплантация

Тип: статьи в сборниках

Источник: Вакуумная техника, материалы и технология : материалы X международной научно-технической конференции (Москва, КВЦ "Сокольники", 2015, 14-16 апреля). М., 2015. С. 243-248

Альтернативные технологии создания структур с квантовыми точками Ge/Si

Связанные документы (рекомендация CORE)

Партнеры

Индексация