Материалов:
1 005 012

Репозиториев:
30

Авторов:
761 409

расширенный поиск

Voluminous high-density plasma generator based on high-current pulsed magnetron discharge

Sochugov, Nikolay S., Zakharov, Alexander N., Oskirko, V. O., Semenov, Vladimir A., Semenyuk, N. S., Kozyrev, Andrey V.

Дата публикации: 2012

Дата публикации в реестре: 2020-03-03T19:09:15Z

Ключевые слова:
физика плазмы, магнетронные распылительные системы, магнетронные разряды, плазменно-иммерсионная обработка

Тип: статьи в журналах

Источник: Russian physics journal. 2012. Vol. 55, № 2. P. 195-201

Связанные документы (рекомендация CORE)

Партнеры

КФУ
ТГУ
Elpub
СФУ
Webpublishers

Индексация

BASE
WorldCat
OpenAIRE
EDS
core