Материалов:
1 005 012

Репозиториев:
30

Авторов:
761 409

расширенный поиск

Влияние отжига в аргоне на свойства пленок оксида галлия, полученных термическим напылением

Вишникина, Вера Валерьевна, Зарубин, Андрей Николаевич, Новиков, Владимир Александрович, Петрова, Юлианна Сергеевна, Толбанов, Олег Петрович, Тяжев, Антон Владимирович, Цупий, Светлана Юрьевна, Яскевич, Тамара Михайловна, Калыгина, Вера Михайловна

Дата публикации: 2013

Дата публикации в реестре: 2020-03-03T19:12:42Z

Ключевые слова:
оксид галлия, оксидные пленки, термическое напыление, отжиг, электрические характеристики, оптические характеристики

Тип: статьи в журналах

Источник: Физика и техника полупроводников. 2013. Т. 47, № 8. С. 1137-1143

Связанные документы (рекомендация CORE)

Партнеры

КФУ
ТГУ
Elpub
СФУ
Webpublishers

Индексация

BASE
WorldCat
OpenAIRE
EDS
core