Формирование шероховатости на поверхности нитрида галлия

Засухин, Дмитрий Иннокентьевич; Каримбаев, Дамир Джамаллитдинович; Коханенко, Андрей Павлович

Формирование шероховатости на поверхности нитрида галлия

Засухин, Дмитрий Иннокентьевич, Каримбаев, Дамир Джамаллитдинович, Коханенко, Андрей Павлович

Дата публикации: 2015

Дата публикации в реестре: 2020-03-03T19:34:33Z

Ключевые слова:
химическое травление, нитрид галлия, шероховатость поверхности, эпитаксиальные структуры

Тип: статьи в сборниках

Источник: ВНКСФ-21 : Двадцать первая Всероссийская научная конференция студентов-физиков и молодых ученых, Россия : материалы конференции : информационный бюллетень. Омск, 2015. С. 193-194

Формирование шероховатости на поверхности нитрида галлия

Связанные документы (рекомендация CORE)

Партнеры

Индексация