Материалов:
1 081 645

Репозиториев:
30

Авторов:
761 409

расширенный поиск

Основы фотолитографии : учебное пособие : [для вузов по специальности ВПО 020101.65 - химия]

Гудымович, Елена Никифоровна, Гавриленко, Наталия Айратовна

Дата публикации: 2009

Дата публикации в реестре: 2020-03-03T19:45:00Z

Аннотация:

Получено из издательства

Ключевые слова:
электронные учебники, фотолитография, электронная техника, фотохимические реакции, пластины (фотолитография), загрязнение поверхности пластины (фотолитография), вакуумная гигиена, фоторезисторы, фотошаблоны, подложки, перенос изображения, фотолитографические процессы плазменные, фотослои, изображения (фотолитография), полупроводниковое материаловедение, планирование эксперимента, методы оптимизации, физико-химическая обработка, безопасность работы, программы учебных курсов

Тип: учебные издания

Связанные документы (рекомендация CORE)

Партнеры

КФУ
ТГУ
Elpub
СФУ
Webpublishers

Индексация

BASE
WorldCat
OpenAIRE
EDS
core