При термообработке тетратиомолибдата аммония при температуре 723-823 К образуются нано- и микрокристаллы длиной 4-7 мкм, шириной 400-750 нм с высокой адгезией. Рентгенофазовый анализ тонкой пленки триоксида молибдена показал, что он в форме a-MoO3. Толщина нано пленки составляет около 14 нм. Толщина пленки триоксида молибдена изменяется в зависимости от концентрации раствора тетратиомолибдата аммония. Время термической обработки составляет 30-60 мин.