Релаксация электрофизических параметров эпитаксиальных пленок КРТ при воздействии высокочастотного наносекундного объемного разряда в воздухе атмосферного давления

Григорьев, Денис Валерьевич; Ермаченков, Павел Андреевич; Тарасенко, Виктор Федотович; Шулепов, Михаил Александрович; Ерофеев, Михаил Владимирович; Рипенко, Василий Сергеевич; Дворецкий, Сергей Алексеевич; Михайлов, Николай Николаевич (физик); Войцеховский, Александр Васильевич

Релаксация электрофизических параметров эпитаксиальных пленок КРТ при воздействии высокочастотного наносекундного объемного разряда в воздухе атмосферного давления

Григорьев, Денис Валерьевич, Ермаченков, Павел Андреевич, Тарасенко, Виктор Федотович, Шулепов, Михаил Александрович, Ерофеев, Михаил Владимирович, Рипенко, Василий Сергеевич, Дворецкий, Сергей Алексеевич, Михайлов, Николай Николаевич (физик), Войцеховский, Александр Васильевич

Дата публикации: 2018

Дата публикации в реестре: 2020-03-03T19:57:01Z

Аннотация:

Представлены экспериментальные результаты исследования влияния высокочастотного наносекундного диффузного разряда в воздухе атмосферного давления на электрофизические свойства эпитаксиальных пленок КРТ. Анализ магнитополевых зависимостей коэффициента Холла показал, что в результате облучения в приповерхностной области материала образуется высокопроводящий слой n-типа проводимости. Показано, что после облучения наблюдается релаксация значений электрофизических параметров эпитаксиальных пленок к исходным значениям.

Ключевые слова:
эпитаксиальные пленки, наносекундные разряды, электрофизические свойства, релаксация, атмосферное давление

Тип: статьи в журналах

Права: open access

Источник: Известия высших учебных заведений. Физика. 2018. Т. 61, № 8/2. С. 132-136