Влияние объемного высокочастотного разряда в воздухе атмосферного давления на электрофизические свойства эпитаксиальных пленок КРТ: магистерская диссертация по направлению подготовки: 12.04.03 - Фотоника и оптоинформатика
Связанные документы (рекомендация CORE)