Материалов:
1 005 012

Репозиториев:
30

Авторов:
761 409

расширенный поиск

Local quasioptical resonator diagnostics of semiconductor wafers

Dunaevskii, Grigory E., Badin, Alexander V., Dorozhkin, Kirill V., Bessonov, Vitaly V., Khodovitskiy, Sergey, Dorofeev, Igor O.

Дата публикации: 2018

Дата публикации в реестре: 2020-03-03T20:02:23Z

Аннотация:
Ключевые слова:
локальная квазиоптическая резонаторная диагностика, полупроводниковые пластины, методы измерения коэффициентов отражения, открытые квазиоптические резонаторы

Тип: статьи в журналах

Источник: MATEC Web of conferences. 2018. Vol. 155. P. 01051 (1-7)

Связанные документы (рекомендация CORE)

Партнеры

КФУ
ТГУ
Elpub
СФУ
Webpublishers

Индексация

BASE
WorldCat
OpenAIRE
EDS
core