Изучение влияния флюенса имплантированных ионов железа и никеля на электрофизические свойства фоторезиста в СВЧ диапазоне - «Национальный агрегатор открытых репозиториев российских университетов» (НОРА)

Материалов:
1 005 012

Репозиториев:
30

Авторов:
596 024

расширенный поиск

Изучение влияния флюенса имплантированных ионов железа и никеля на электрофизические свойства фоторезиста в СВЧ диапазоне

Волобуев, Влас Сергеевич, Олешкевич, А. А.

Дата публикации: 2014

Дата публикации в реестре: 2020-02-28T10:29:44Z

Ключевые слова:
ионная имплантация, СВЧ резанаторы, фоторезистивные нанокомпозиты, ионы никеля, ионы железа, анизотропия, проводимость

Тип: Article

Связанные документы (рекомендация CORE)