Материалов:
1 082 141

Репозиториев:
30

Авторов:
761 409

расширенный поиск

Исследование свойств ионноимплантированных фоторезистов методом ЭПР

Волобуев, Влас Сергеевич

Дата публикации: 2016

Дата публикации в реестре: 2020-02-28T10:34:25Z

Ключевые слова:
ионная имплантация, ионноимплантированные фоторезисты

Тип: Article

Связанные документы (рекомендация CORE)

Партнеры

КФУ
ТГУ
Elpub
СФУ
Webpublishers

Индексация

BASE
WorldCat
OpenAIRE
EDS
core