Дата публикации: 17.03.2017

Дата публикации в реестре: 2020-02-28T10:34:40Z

Аннотация:

В представленной работе мы исследовали состав и распределение элементов в покрытии, нанесенном на пластины (100) Si в условиях ионного ассистирования при комнатной температу-ре, а также химические связи элементов в поверхностном слое кристаллов кремния при нанесе-нии Cr-покрытия. Элементный состав покрытия и распределение элементов по глубине изучали с применением резерфордовского обратного рассеяния ионов гелия и вторичной ионной масс-спектрометрии.