Получение тонких полупроводниковых пленок оксосульфида олова(II) методом SILD

Галковский, Тимур Вячеславович; Богомазова, Наталья Валентиновна; Жарский, Иван Михайлович

Получение тонких полупроводниковых пленок оксосульфида олова(II) методом SILD

Галковский, Тимур Вячеславович, Богомазова, Наталья Валентиновна, Жарский, Иван Михайлович

Дата публикации: 2019

Дата публикации в реестре: 2020-02-28T10:35:40Z

Аннотация:

Цель исследования – формирование нано- и микроструктурных слоев полупроводниковых сульфидов или оксосульфидов олова(II) методом SILD на планарных прозрачных подложках, а также изучение влияния количества циклов обработки на микроструктуру, состав и электрические свойства пленок.

Ключевые слова:
пленки полупроводниковые, оксосульфид олова, полупроводниковые пленки, SILD, пленочные структуры, скорость осаждения, элементный состав, электросопротивление

Тип: Article

Получение тонких полупроводниковых пленок оксосульфида олова(II) методом SILD

Связанные документы (рекомендация CORE)

Партнеры

Индексация