Влияние параметров ионно-ассистируемого осаждения на формирование Me/Si структур - «Национальный агрегатор открытых репозиториев российских университетов» (НОРА)

Материалов:
1 005 012

Репозиториев:
30

Авторов:
761 409

расширенный поиск

Влияние параметров ионно-ассистируемого осаждения на формирование Me/Si структур

Бобрович, Олег Георгиевич, Ташлыков, И. С., Тульев, Валентин Валентинович

Дата публикации: 2014

Дата публикации в реестре: 2020-02-28T10:35:49Z

Ключевые слова:
ионно-ассистируемое осаждение, металлические покрытия, покрытия металлические

Тип: Article

Связанные документы (рекомендация CORE)