Дата публикации: 07.03.2014

Дата публикации в реестре: 2020-02-28T10:36:20Z

Аннотация:

Исследовано влияние состава комбинированного электролита анодирования с пониженным содержанием органических кислот на скорость формирования, структуру и свойства пленки оксида алюминия. Установлено, что для получения конструктивных элементов электронных устройств с повышенными изоляционными свойствами предпочтительнее использовать растворы с преобладанием менее агрессивной лимонной кислоты. Показано, что кинетические торможения целевого анодного процесса окисления алюминия приводят к повышению плотности барьерного оксида при сохранении скорости роста основного пористого слоя Al2O3.