Получение и исследование тонких оксидных пленок на планарных и профилированных подложках - «Национальный агрегатор открытых репозиториев российских университетов» (НОРА)

Материалов:
1 005 012

Репозиториев:
30

Авторов:
761 409

расширенный поиск

Получение и исследование тонких оксидных пленок на планарных и профилированных подложках

Боброва, В. А.

Дата публикации: 20.09.2016

Дата публикации в реестре: 2020-02-28T10:39:00Z

Аннотация:

Представлены доклады секции химической технологии и техники и секции технологии органических веществ.

Ключевые слова:
тонкие оксидные пленки, пленочные структуры, планарные подложки, профилированные подложки

Связанные документы (рекомендация CORE)