Сенсорные и структурные свойства тонких пленок оксида олова, полученных магнетронным распылением

Лугин, Валерий Геннадьевич; Зарапин, Виталий Георгиевич; Жарский, Иван Михайлович

Сенсорные и структурные свойства тонких пленок оксида олова, полученных магнетронным распылением

Лугин, Валерий Геннадьевич, Зарапин, Виталий Георгиевич, Жарский, Иван Михайлович

Дата публикации: 1999

Дата публикации в реестре: 2020-02-28T10:39:46Z

Аннотация:

Исследованы структура, фазовый состав, морфология поверхности и химический состав пленок на основе SnO[x], полученных методом магнетронного распыления олова с последующим термическим окислением Исследования сенсорных свойств нелегированных пленок SnO[x] выявили высокую чувствятельаость при детектировании малых концентраций NO[2] в газовых смесях при температуре чувствительного слоя 100-130 °С. Сенсорные пленки SnO[x], обладают селективностью в присутствии СО, СИ[4], Н[2]. Полученные результаты могут быть использованы при создании высокочувствительных и селективных сенсоров для детектирования газовых смесей, содержащих NO[2] и СО.

Ключевые слова:
тонкие пленки оксида олова, сенсорные свойства, структурные свойства, магнетронное распыление, сенсоры селективные, детектирование газовых смесей, сенсорные пленки

Тип: Article

Сенсорные и структурные свойства тонких пленок оксида олова, полученных магнетронным распылением

Связанные документы (рекомендация CORE)

Партнеры

Индексация