Дата публикации: 2015-11

Дата публикации в реестре: 2020-03-13T23:22:06Z

Аннотация:

Для кристаллов, выращиваемых из жидкого расплава по способу Чохральского, разработана математическая модель контроля текущей площади кристалла на основе управления условиями замыкания контактного датчика уровня расплава в тигле, позволяющая вычислить сигнал управления как разность текущей и заданной площади выращиваемых кристаллов

Тип: Journal Article