В данной работе исследована микротвердость структур покрытие - сталь марок Ст3, 45, 40Х, сформированных осаждением тонких покрытий Ti и Ti + Si в условиях ассистирования ионами Ti+ и (Ti + Si)+ соответственно. Установлено, что ионно-ассистируемое осаждение покрытий Ti и Ti + Si приводит к увеличению микротвердости образцов из сталей 45, 40Х в 1,5 - 2 раза. Обсуждены возможные причины, приводящие к изменению микротвердости модифицированных сталей.