Изучены возможности метода избирательного травления для исследования дислокационной структуры крупногабаритных монокристаллов германия. Предложена процедура препарирования изображений, повышающая точность автоматического подсчёта плотности дислокаций. Уменьшение погрешностей и повышение информативных возможностей метода достигается также при использовании темнопольной и интерференционной микроскопии.