Рассмотрен процесс формирования остаточных напряжений в вакуумно-плазменных покрытиях на деталях из немагнитных материалов. Установлены закономерности формирования напряжений в покрытиях на различных этапах процесса. Предложены технологические приемы, позволяющие снизить уровень напряжений в покрытиях.