Бесконтактные измерения электрических параметров полупроводников в СВЧ-диапазоне

Мадьяров, Владимир Рафкатович

Бесконтактные измерения электрических параметров полупроводников в СВЧ-диапазоне

Дата публикации: 2017

Дата публикации в реестре: 2020-02-28T10:45:53Z

Аннотация:

Для исследования электронных свойств полупроводников применяются бесконтактные методы на основе зондирования излучением сверхвысоких частот. В данной работе предложена методика определения удельной проводимости и диэлектрической проницаемости кремниевых пластин с помощью интерферометрических измерений фазового сдвига и коэффициента пропускания зондирующего излучения. Измерения фазового сдвига проводились с использованием фазовращателя интерферометра. Удельная проводимость определялась по величине коэффициента пропускания излучения с учетом многократных внутренних отражений от граней кристаллического образца. Коэффициенты отражения и затухания зондирующего излучения измерялись для двух образцов слаболегированного кремния с различной толщиной.

Ключевые слова:
бесконтактные измерения, волны миллиметрового диапазона, удельная проводимость, диэлектрическая проницаемость, коэффициент пропускания

Тип: Article