Влияние толщины металлического слоя на дисперсионные характеристики акустических волн в слоистой структуре &quot;Me/ZnO/Me/алмаз&quot;

Burkov, Sergey I.; Zolotova, Olga P.; Turchin, Pavel P.; Turchin, Vladimir I.; Sorokin, Boris P.; Бурков, Сергей И.; Золотова, Ольга П.; Турчин, Павел П.; Турчин, Владимир И.; Сорокин, Борис П.

Влияние толщины металлического слоя на дисперсионные характеристики акустических волн в слоистой структуре "Me/ZnO/Me/алмаз"

Burkov, Sergey I., Zolotova, Olga P., Turchin, Pavel P., Turchin, Vladimir I., Sorokin, Boris P., Бурков, Сергей И., Золотова, Ольга П., Турчин, Павел П., Турчин, Владимир И., Сорокин, Борис П.

Дата публикации: 2018-06

Дата публикации в реестре: 2020-03-31T23:56:56Z

Аннотация:

В настоящей работе был выполнен анализ влияния массовой нагрузки в виде двух металлических слоев (верхний и нижний электроды) на изменение фазовой скорости дисперсионных мод упругой волны в пьезоэлектрической слоистой структуре "Me/ZnO/Me/алмаз" в зависимости от частоты и отношения толщин металлического слоя к толщине слоя пьезоэлектрического кристалла. В качестве материала металлического слоя рассмотрены алюминий (Al), молибден (Mo) и платина (Pt). Продемонстрировано, что изменение фазовой скорости упругой волны зависит от акустического импеданса металлического слоя и его толщины

Ключевые слова:
piezoelectric layered structure, Rayleigh wave, Love wave, mass loading, пьезоэлектрическая слоистая структура, волна Рэлея, волна Лява, массовая нагрузка

Тип: Journal Article

Влияние толщины металлического слоя на дисперсионные характеристики акустических волн в слоистой структуре "Me/ZnO/Me/алмаз"

Связанные документы (рекомендация CORE)

Партнеры

Индексация