Динамическое моделирование многомодового резонансного режима измерений в атомно-силовой микроскопии с пьезорезистивными активными кантилеверами

Marinushkin, Pavel S.; Levitskiy, Alexey A.; Ivanov, Tzvetan; Rangelow, Ivo W.; Маринушкин, П.С.; Левицкий, А.А.; Иванов, Т.; Рангелов, И.В.

Динамическое моделирование многомодового резонансного режима измерений в атомно-силовой микроскопии с пьезорезистивными активными кантилеверами

Marinushkin, Pavel S., Levitskiy, Alexey A., Ivanov, Tzvetan, Rangelow, Ivo W., Маринушкин, П.С., Левицкий, А.А., Иванов, Т., Рангелов, И.В.

Дата публикации: 2018-09

Дата публикации в реестре: 2020-04-01T00:00:46Z

Аннотация:

Проблема разработки высокоскоростных методов качественной и количественной характеризации материалов является одной из важнейших задач метрологии наносистем. В связи с этим представляет интерес исследование возможностей многомодового резонансного режима атомно-силовой микроскопии (АСМ), позволяющего расширить возможности АСМ в направлении повышения качества и достоверности количественного анализа изображений наноразмерных структур и нанообъектов. Предметом данной работы является рассмотрение вопросов создания динамической модели, описывающей взаимосвязанные механические и электрические процессы в саморегистрирующих активных кантилеверах, функционирующих в многочастотном резонансном режиме. Итогом работы является компьютерная динамическая модель АСМ, позволяющая исследовать процессы формирования сигналов, в управляющем и измерительных контурах АСМ при сканировании образцов в многочастотном режиме

Ключевые слова:
Atomic Force Microscope (AFM), Nano- and Microelectromechanical Systems (NEMS/ MEMS), nanometrology, self-actuating and self-sensing cantilever, thermomechanical actuation, атомно-силовой микроскоп (АСМ), нано- и микроэлектромеханические системы (НЭМС/МЭМС), нанометрология, саморегистрирующий активный кантилевер, термомеханический привод

Тип: Journal Article