Морфология, структура и оптические свойства пленок SNO(x)

Никифоров, Александр Иванович; Тимофеев, Вячеслав Алексеевич; Машанов, Владимир Иванович; Азаров, Иван Алексеевич; Лошкарев, Иван Дмитриевич; Корольков, Илья Викторович; Гаврилова, Татьяна Александровна; Есин, Михаил Юрьевич

Морфология, структура и оптические свойства пленок SNO(x)

Никифоров, Александр Иванович, Тимофеев, Вячеслав Алексеевич, Машанов, Владимир Иванович, Азаров, Иван Алексеевич, Лошкарев, Иван Дмитриевич, Корольков, Илья Викторович, Гаврилова, Татьяна Александровна, Есин, Михаил Юрьевич

Дата публикации: 2020

Дата публикации в реестре: 2020-04-01T00:30:11Z

Аннотация:

Представлены морфологические, структурные и оптические свойства наноструктурированных пленок SnO(x), полученных методом молекулярно-лучевой эпитаксии осаждением олова в потоке кислорода на окисленной подложке кремния в зависимости от температуры отжига синтезированной структуры. Установлено влияние температуры отжига на структурное и фазовое состояние пленок. Орторомбическая фаза SnO2 наблюдалась после отжига на воздухе при 500 °C. Увеличение температуры отжига до 800 °C приводит к появлению небольшой доли тетрагональной фазы SnO2. Показано влияние кристаллической структуры на оптические свойства пленок оксидов олова. Методом эллипсометрии обнаружено резкое изменение оптических констант пленки вблизи температуры отжига 500 °C. Наблюдаемая широкая полоса поглощения в диапазоне 1.9–3.4 эВ, по-видимому, связана с незначительным (примерно 1 %) количеством неокисленных металлических кластеров Sn. Наблюдается широкая область фотолюминесценции в диапазоне 450–850 нм с максимумом при ~ 600 нм. Увеличение температуры отжига с 500 до 800 °С приводит к увеличению ее интенсивности почти в 6 раз.

Ключевые слова:
оксид олова, эпитаксия, наноструктуры, рентгеновская дифракция, коэффициент поглощения

Тип: статьи в журналах

Права: open access

Источник: Известия высших учебных заведений. Физика ежемесячный. 2020. Т. 63, № 2. С. 85-90