Дата публикации: 2020

Дата публикации в реестре: 2020-05-12T08:49:31Z

Аннотация:

В работе обсуждаются экспериментальные результаты по изучению приповерхностных слоев структур Ме/Si, сформированных методом ионно-ассистируемого осаждения в вакууме. В качестве подложки использовался образцы из кремния, на которые наносились металлсодержащие покрытие на основе Cr, Ti, Zr.

Тип: Article