Дата публикации: 1996

Дата публикации в реестре: 2020-02-28T10:48:45Z

Аннотация:

Предложенные методы создания и модифицирования сенсорных слоев, которые позволяют существенно улучшить такие характеристики адсорбционно-резистивных твердотельных химических сенсоров, как чувствительность, селективность, стабильность и долговечность. Все используемые методы формирования и модифицирования сенсоров относятся к методам вакуумных технологий, могут быть осуществлены на одной установке в едином вакуумном цикле, полностью совместимы с технологией микроэлектронных производств, имеют перспективы развития в области микросистемных технологий и являются экологически чистыми.

Тип: Article