Влияние различных стадий процессов ионной имплантации и отжига в МЛЭ HgCdTe на адмиттанс тестовых структур металл–диэлектрик–полупроводник

Войцеховский, Александр Васильевич; Несмелов, Сергей Николаевич; Дзядух, Станислав Михайлович; Ижнин, Игорь Иванович; Варавин, Василий Семенович; Дворецкий, Сергей Алексеевич; Михайлов, Николай Николаевич физик; Якушев, Максим Витальевич; Сидоров, Георгий Юрьевич

Влияние различных стадий процессов ионной имплантации и отжига в МЛЭ HgCdTe на адмиттанс тестовых структур металл–диэлектрик–полупроводник

Войцеховский, Александр Васильевич, Несмелов, Сергей Николаевич, Дзядух, Станислав Михайлович, Ижнин, Игорь Иванович, Варавин, Василий Семенович, Дворецкий, Сергей Алексеевич, Михайлов, Николай Николаевич физик, Якушев, Максим Витальевич, Сидоров, Георгий Юрьевич

Дата публикации: 2019

Дата публикации в реестре: 2020-05-12T11:51:00Z

Ключевые слова:
молекулярно-лучевая эпитаксия, металл-диэлектрик-полупроводник, адмиттанс, экспериментальные исследования, ионная имплантация

Тип: статьи в сборниках

Источник: Актуальные проблемы радиофизики АПР 2019 : 8-я Международная научно-практическая конференция, 1-4 октября 2019 года, г. Томск : сборник трудов конференции. Томск, 2019. С. 370-

Влияние различных стадий процессов ионной имплантации и отжига в МЛЭ HgCdTe на адмиттанс тестовых структур металл–диэлектрик–полупроводник

Связанные документы (рекомендация CORE)

Партнеры

Индексация