Электрофизические характеристики гетероструктур Ga2O3/GaAs, полученные методом анодного окисления

Таллер, Елена Викторовна; Петрова, Юлия Сергеевна; Калыгина, Вера Михайловна

Электрофизические характеристики гетероструктур Ga2O3/GaAs, полученные методом анодного окисления

Таллер, Елена Викторовна, Петрова, Юлия Сергеевна, Калыгина, Вера Михайловна

Дата публикации: 2019

Дата публикации в реестре: 2020-05-12T11:51:02Z

Ключевые слова:
анодное окисление, оксидные гетероструктуры, пленки оксида галлия

Тип: статьи в сборниках

Источник: Актуальные проблемы радиофизики АПР 2019 : 8-я Международная научно-практическая конференция, 1-4 октября 2019 года, г. Томск : сборник трудов конференции. Томск, 2019. С. 259-263

Электрофизические характеристики гетероструктур Ga2O3/GaAs, полученные методом анодного окисления

Связанные документы (рекомендация CORE)

Партнеры

Индексация