В данной работе исследована микротвердость структур покрытие-сталь СтЗ, 45, 40Х, сформированных ионно-ассистированным осаждением тонких пленок на основе AI, Ті, Ti+Si, W. Установлено, что ионно-ассистированное осаждением покрытий на основе Ті, Ti+Si, W приводит к увеличению микротвердости образцов из сталей 45, 40Х в 1,2 - 2,4 раза. В работе обсуждаются возможные причины, приводящие к изменению микротвердости модифицированных сталей.