Моделирование процессов массопереноса при нанесении PVD-покрытий

Иванов, И. А.; Мисник, И. В.

Моделирование процессов массопереноса при нанесении PVD-покрытий

Дата публикации: 2014

Дата публикации в реестре: 2020-02-28T11:37:54Z

Аннотация:

Цель работы – разработка численного алгоритма исследования процессов переноса заряженных частиц плазменного потока вакуумного электродугового испарителя на основе метода пробной частицы с учетом парных взаимодействий ион-молекула технологического газа.

Тип: Статья (Article)