Влияние напряжения смещения на однородность плазменно-иммерсионного нанесения покрытий

Слабодчиков, Владимир Андреевич; Борисов, Дмитрий Петрович; Кузнецов, Владимир Михайлович (физик)

Влияние напряжения смещения на однородность плазменно-иммерсионного нанесения покрытий

Слабодчиков, Владимир Андреевич, Борисов, Дмитрий Петрович, Кузнецов, Владимир Михайлович (физик)

Дата публикации: 2016

Дата публикации в реестре: 2020-08-03T14:13:32Z

Ключевые слова:
никелид титана, экспериментальные исследования, напряжение смещения, плазменно-иммерсионная ионная имплантация

Тип: статьи в сборниках

Источник: Перспективные материалы с иерархической структурой для новых технологий и надежных конструкций : международная конференция, 19-23 сентября 2016 г., Томск, Россия : тезисы докладов. Томск, 2016. С. 361-

Влияние напряжения смещения на однородность плазменно-иммерсионного нанесения покрытий

Связанные документы (рекомендация CORE)

Партнеры

Индексация