Дата публикации: 2014

Дата публикации в реестре: 2020-08-28T11:20:43Z

Аннотация:

Диссертация на соискание академической степени магистра технических наук по специальности 1- 41 80 02 «Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники». Научный руководитель к.т.н. Ковалев А. В.

Тип: Thesis