Температурная зависимость характеристик сенсоров H2 на основе тонких пленок Pt/Pd/Au/SnO2:Sb, Ag, Y

Ким, Станислав Витальевич

Температурная зависимость характеристик сенсоров H2 на основе тонких пленок Pt/Pd/Au/SnO2:Sb, Ag, Y

Дата публикации: 2016

Дата публикации в реестре: 2020-10-01T12:54:27Z

Аннотация:

In this report the results of research of the temperature depeud&ices of resistance md response of the hydrogen sensors based on the thin flms of РЬШ/Ан/ЗпО2: Sb, Ag, Y are presented, the range of operating temperatures of the fn-drogen sensors is establish^, 'which amounts 623 -713 K.

Ключевые слова:
металлооксидные полупроводники, хемосорбция, диоксиды, сенсоры водорода, олово, тонкие пленки, температурная зависимость

Тип: статьи в сборниках

Источник: Наука. Технологии. Инновации : сборник научных трудов, г. Новосибирск, 05-09 декабря 2016 г. : в 9 ч.. Новосибирск, 2016. Ч. 6. С. 94-96