Материалов:
1 005 012

Репозиториев:
30

Авторов:
761 409

расширенный поиск

Micro-Raman Investigation of Hydrogen Localized in Cone-Shaped Defects Formed on the Silicon Wafer Surface

Frantskevich, N. V., Fedotov, A. K., Frantskevich, A. V., Mazanik, N. V.

Дата публикации: 2014

Дата публикации в реестре: 2020-12-02T08:40:46Z

Аннотация:
Ключевые слова:
study of molecular hydrogen, cone-shaped defects, laser irradiation, micro-Raman study

Тип: Article

Другие версии документа

Micro-Raman Investigation of Hydrogen Localized in Cone-Shaped Defects Formed on the Silicon Wafer Surface

Связанные документы (рекомендация CORE)

Партнеры

КФУ
ТГУ
Elpub
СФУ
Webpublishers

Индексация

BASE
WorldCat
OpenAIRE
EDS
core