Формирование α-Al2O3-покрытий реакционным испарением с интенсивным ионным сопровождением при 500–550 °С

Каменецких, Александр Сергеевич; Гаврилов, Николай Васильевич; Третников, Петр Васильевич; Чукин, Андрей Владимирович; Меньшаков, Андрей Игоревич; Чолах, Сеиф Османович

Формирование α-Al2O3-покрытий реакционным испарением с интенсивным ионным сопровождением при 500–550 °С

Каменецких, Александр Сергеевич, Гаврилов, Николай Васильевич, Третников, Петр Васильевич, Чукин, Андрей Владимирович, Меньшаков, Андрей Игоревич, Чолах, Сеиф Османович

Дата публикации: 2020

Дата публикации в реестре: 2020-12-02T09:53:52Z

Аннотация:

Представлены результаты исследования условий формирования и структуры α-фазы в Al2O3-покрытиях, полученных реакционным анодным испарением в дуговом разряде при низкой температуре (500–550 °С). В экспериментах варьировались плотность тока ионного сопровождения (до 20 мА/см2) и энергия ионов (25–150 эВ), поступающих на поверхность покрытия при постоянной скорости роста 3 мкм/ч. Фазовый состав покрытия анализировался методами рентгеновской дифракции и инфракрасной спектроскопии. Показано, что α-фаза формируется при достижении порогового напряжения смещения 75–100 В и стабильна в ограниченном диапазоне изменения энергии ионов, рост которой приводит к уменьшению размера нанокристаллитов α-фазы и аморфизации покрытия. Особенностью структуры покрытий является преимущественная ориентация (300), наиболее вероятной причиной доминирования которой служит рост α-фазы при выполнении ориентационного соотношения (440)γ-Al2O3/(300)α-Al2O3.

Ключевые слова:
оксидные покрытия, оксид алюминия, реактивное испарение, ионное сопровождение, текстура, кристаллическая решетка

Тип: статьи в журналах

Права: open access

Источник: Известия высших учебных заведений. Физика. 2020. Т. 63, № 10. С. 144-150