Целью данной работы является исследование покрытий из тугоплавких металлов (Nb, Ta), полученных электронно-лучевой технологией на медных подложках при температурах экспериментально определенных. С помощью дифракционного анализа исследована морфология покрытий, фазовый состав промежуточного продукта «субстрат-конденсат» и проанализирован механизм фазового
слияния.