Исследование тонкопленочных структур Sn[x]W[y]O[z]/Al[2]O[3]/Si

Боброва, В. А.; Галковский, Тимур Вячеславович

Исследование тонкопленочных структур Sn[x]W[y]O[z]/Al[2]O[3]/Si

Боброва, В. А., Галковский, Тимур Вячеславович

Дата публикации: 2016

Дата публикации в реестре: 2021-03-09T13:08:09Z

Аннотация:

В работе представлены результаты экспериментального исследования процесса формирования тонких газочувствительных пленок состава Sn[x]W[y]O[z]/Al[2]O[3]/Si методом ионного наслаивания, изучения электрофизических свойств пленок, влияния состава окружающей газовой среды на проводимость слоев и выяснение особенностей их применения в качестве датчиков газов. Исследованы зависимости электрофизических характеристик тонких газочувствительных пленок от температуры и состава окружающей среды.

Ключевые слова:
тонкопленочные структуры, тонкие пленки, оксиды олова, олово, вольфрам, газочувствительные пленки, ионное наслаивание, тонкие газочувствительные пленки, электрофизические свойства

Тип: Article