Материалов:
1 005 012

Репозиториев:
30

Авторов:
761 409

расширенный поиск

Учет неоднородности по толщине полупроводниковых пленок в спектральной эллипсометрии

Ивашкевич, И. В., Гарай, Е. Г., Третьяк, Е. В.

Дата публикации: 2019

Дата публикации в реестре: 2021-05-18T13:57:21Z

Ключевые слова:
спектральная эллипсометрия, оптические характеристики, неоднородность по толщине, полупроводниковые пленки

Тип: Article

Связанные документы (рекомендация CORE)

Партнеры

КФУ
ТГУ
Elpub
СФУ
Webpublishers

Индексация

BASE
WorldCat
OpenAIRE
EDS
core