Методом электронно-зондовой микроскопии (EDX Oxford Instruments AZtecEnergy-Advanced) и атомно-силовой микроскопии (NT 206 (Microtestmachines Со., Беларусь) в контактном режиме, исследовано влияние режимов нанесения Мо покрытия, на свойства поверхности подложек Мо/стекло для тонкопленочных медьсодержащих халькогенидных полупроводниковых материалов, используемых для создания солнечных фотопреобразователей.