Импульсная лазерная обработка и лазерно-индуцированная проводимость тонкопленочного германия

Ивлев, Г. Д.; Прокопьев, С. Л.; Гацкевич, Е. И.; Файзрахманов, И. А.

Импульсная лазерная обработка и лазерно-индуцированная проводимость тонкопленочного германия

Ивлев, Г. Д., Прокопьев, С. Л., Гацкевич, Е. И., Файзрахманов, И. А.

Дата публикации: 2017

Дата публикации в реестре: 2021-08-05T16:39:46Z

Аннотация:

Проводилась кристаллизация тонкопленочного германия под действием наносекундного излучения рубинового лазера. Исследована лазерно-индуцированная проводимость (ЛП) исходной пленки a-Ge:Sb, осажденной на сапфировую подложку методом ионно-лучевого распыления составной мишени, и поликристаллических слоев n+-Ge:Sb, сформированных лазерной обработкой a-Ge:Sb. Установлены зависимости отклика ЛП от плотности энергии возбуждающего излучения и от энергетического режима лазерной обработки.

Тип: Working Paper