При малых объёмах выпуска стоимость комплекта фотошаблонов может быть в несколько раз дороже производства кристаллов. Полностью исключить процесс изготовления фотошаблонов позволяет только безмасковая литография.For small production volume, the cost of a set of masks can be a few times more expensive than die fabrication. Mask fabrication process can only be eliminated by mask-free lithography.
