Газовые сенсоры и сенсорные микросистемы на наноструктурированных металлооксидных пленках

Захлебаева, А. И.; Реутская, О. Г.

Газовые сенсоры и сенсорные микросистемы на наноструктурированных металлооксидных пленках

Дата публикации: 2016

Дата публикации в реестре: 2021-08-05T17:28:34Z

Аннотация:

Разработана технология формирования газового сенсора и двухсенсорной газовой микросистемы на диэлектрических подложках из анодного оксида алюминия. Исследованы отклики изготовленной микросистемы к газам CO, C3H8 и NO2. Использование подложек из наноструктурированного оксида алюминия позволяет формировать газовые микросистемы на одном кристалле, сохраняя размеры одиночного сенсора, а также снизить потребляемую мощность и обеспечить долговременную работоспособность микросистем.

Ключевые слова:
публикации ученых, анодный оксид алюминия, наноструктурированные подложки, полупроводниковые химические сенсоры, сенсорные микросистемы

Тип: Article