Конструкция и технология изготовления системы оптических межсоединений на основе наноструктурированного кремния

Лазарук, С. К.; Лешок, А. А.; Высоцкий, В. Б.; Борисенко, В. Е.

Конструкция и технология изготовления системы оптических межсоединений на основе наноструктурированного кремния

Лазарук, С. К., Лешок, А. А., Высоцкий, В. Б., Борисенко, В. Е.

Дата публикации: 2016

Дата публикации в реестре: 2021-08-05T17:28:35Z

Аннотация:

Разработана и изготовлена экспериментальная структура интегральных оптических межсоединений на кремниевом кристалле, а также исследованы ее характеристики.

Ключевые слова:
публикации ученых, интегральные оптические межсоединения, композиционная пленка алюминия, контакт Шоттки

Тип: Article

Конструкция и технология изготовления системы оптических межсоединений на основе наноструктурированного кремния

Связанные документы (рекомендация CORE)

Партнеры

Индексация